综合概述 AE WHT-3150全自动晶片传送系统为4，5和6英寸的晶片被送到标准的显微镜下进行检查提供全自动的装卸操作。利用它的无带运输系统，由于在使用中最小晶片传送的要求，WTH-3150是一个非常小的粒子生成工具。被检查后的晶片被送回原先的加载晶舟槽内。

此WTH-3150软触摸面板用于 ：

l         选择程序模式：全自动（用于检查目的），手动（特殊检查目的时对标准全自动程序的修改）；

l         粒子糟检查时程序的晶片取样数量；

l         安装诊断程序操作，校对和检查系统操作；

l         显示系统状态，程序检查和警报信息等。

• 与标准的“承运人”合作

当WHT-3150和标准的晶片“承运人”连接的时候，对显微镜没有机械设置的要求；

• 容易操作的用户界面
  所有的系统功能被编成微处理后通过软触摸式的控制面板显示在液晶显示器上；

• 先进的机械设计和功能
     -  为软触摸晶片传送提供特殊的机器手；

-         兼容一级无尘间；

-         采用CE标识，符合人体工学标准。